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長(cháng)工作距離深紫外顯微物鏡
作者: Kevin 發(fā)布于: 2018-09-03 14:46 點(diǎn)擊:次
1.性能參數
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ITEM # |
COATING |
M |
WD |
EFL |
NA |
TFS |
EA |
L |
SPOT SIZE |
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XWJ-40X-UV |
UV |
40× |
1.5mm |
4.4mm |
0.6 |
1μm |
5.3mm |
43.5mm |
1μm |
注：有限遠共軛
2.外形尺寸
3.成像質(zhì)量測試報告
4.檢測結果
4.1焦距測量
焦距測量的測試波長(cháng)為綠光（540nm），該波長(cháng)下的顯微物鏡焦距為5.6mm，實(shí)測焦距為5.3mm
4.3 透過(guò)率測量
陪鍍片的剩余反射率曲線(xiàn)
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利用陪鍍片進(jìn)行測量，陪鍍片厚度：8mm；
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結果：內透過(guò)率：99.6%；零件透過(guò)率：98.4%；單面透過(guò)率：99.485%
-
整體透過(guò)率為94%（193nm處）。
4.2像質(zhì)檢測
a) 顯微物鏡對目標（小孔）所成的像
b)能量集中度曲線(xiàn)
c) 點(diǎn)擴散函數
5. 實(shí)物照片
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